平面度檢查儀采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估，廣泛應(yīng)用于航空航天，汽車工業(yè)噴油嘴行業(yè)，泵、閥門密封件表面，以及光學(xué)工程，激光工程等領(lǐng)域。
機(jī)械平面度的測量方法有使用表面輪廓儀、準(zhǔn)直儀、高度表、三坐標(biāo)測量機(jī)等設(shè)備來進(jìn)行的，這些設(shè)備在測量平面度時(shí)，往往只能放映局部的偏差；而且測量工作煩瑣，設(shè)備的投入成本高，對操作人員的經(jīng)驗(yàn)和知識也要求較高。
對平面度檢測的要求很高，使用前要測量平面度是否達(dá)到國家的標(biāo)準(zhǔn)，檢測合格后才能夠投入使用，一般的檢測方法有以下三種：
1.計(jì)算法
應(yīng)用計(jì)算公式獲得平面度誤差值，該法有計(jì)算準(zhǔn)確的優(yōu)點(diǎn)，但需事先判準(zhǔn)高低點(diǎn)，否則將造成計(jì)算錯誤或影響其計(jì)算準(zhǔn)確度。用計(jì)算法獲取鑄鐵平臺對角線法原始數(shù)據(jù)的方法對角線法是以對角線平面為理想平面評定平面度的一種數(shù)據(jù)算得方法。數(shù)據(jù)處理是將水平儀或自準(zhǔn)直儀得到的截面各點(diǎn)相對于該截面兩端點(diǎn)連線的直線度偏差值折合到對角線平面上，計(jì)算出相對于理想平面偏差。當(dāng)按對角線原則評定時(shí)，則取其大偏差于小偏差的代數(shù)差為所求平面度誤差值；當(dāng)按小條件原則評定時(shí)，則將計(jì)算出相對理想平面的偏差作為對角線法的原始數(shù)據(jù)。
2.旋轉(zhuǎn)法
旋轉(zhuǎn)法是將測基面經(jīng)過適當(dāng)變換（旋轉(zhuǎn)或平移），使測量基面和評定基面重合，獲得符合小條件的位置，通過測量數(shù)據(jù)的交換獲取平面度誤差。該法不需使用繪圖或計(jì)算工具，有簡便易行的優(yōu)點(diǎn)，具體操作時(shí)常需做多次旋轉(zhuǎn)，對不熟練者效率不高。但該法是基本的方法，只要掌握旋轉(zhuǎn)要領(lǐng)，終必能達(dá)到目的。
3.圖解法
圖解法是一種幾何作圖求解法。它是以各測點(diǎn)的測量值按比例在進(jìn)角坐標(biāo)系上描點(diǎn)，用作圖方式從坐標(biāo)圖上量取平面度偏差值。它有簡單、直觀的優(yōu)點(diǎn)，但該法需用坐標(biāo)紙準(zhǔn)確作圖，且有作圖誤差，適合現(xiàn)場使用。
